Metrology, inspection and process control for microlithography XI - 10-12 March 1997, Santa Clara, California
- Författare
- (Susan K. Jones, chair/editor)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1997 | USA | 636 sidor. | 0-8194-2464-1 |